臭氧消毒柜内有一个臭氧发生器。臭氧发生器通过电学原理产行高压；高压达到一定程度以后空气被击穿，空气中的分子被电离。其中的氧气分子被电离后产生由三个氧原子结合而成的臭氧分子。就是闪电能产生臭氧同样的道理

利用发生器产生臭氧。臭氧是双氧结构的氧，化学式H2O2，在空气中有较强的氧化作用，对细菌类有消杀作用。 消毒用臭氧发生器的安装，一般安置在高处，因为臭氧比重在空气中较大，易下降，放置高处的目的主要是有利于臭氧的散播，在达到设定消毒时间后，使用活性炭吸附或催化剂还原进行空气消毒灭菌。